Modellierung und Simulation Parallelisierter Taktiler Messtechnik für Mikrostrukturen
Mikrotechnisch hergestellte Strukturen stellen mit ihren Strukturgrößen, optisch nicht kooperierenden Oberflächen und den großen Stückzahlen besondere Anforderungen an die geometrische Messtechnik. Diesen Anforderungen wurde mit der Entwicklung eines 3x3 Arrays aus mikrotechnisch hergestellten Mikrotastern ...