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Elektromechanische Systeme, bestehend aus wechselwirkenden elektrischen, mechanischen und akustischen Teilsystemen gewinnen im Präzisionsgerätebau, in der Sensor- und Aktortechnik, der Elektroakustik sowie in der Medizintechnik eine immer größere Bedeutung. Durch die Anwendung der Silizium-Mikromechanik ...